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广州潽拓光电科技(多图)-越秀区爱德华分子泵维修要多少钱

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  • 主营产品:分子泵控制器,真空分子泵,AE电源,真空油泵,真空系统
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维修SHIMADZU TMP-1303LMC-G1磁悬分子泵,二手分子泵维修出售


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岛津是的涡轮分子泵(TMP)制造商之一。岛津TPM主要用于为制造半导体器件、太阳能电池和平板显示器提供不可或缺的高真空环境。

岛津生产的TMP具有国际水准的气体吞吐量和抽气速度,可满足日益严格的半导体制造的工艺需求。例如,使制造商能够在大面积硅片上沉积和蚀刻半导体薄膜。



我司特针常用的 Shimadzu TMP3203涡轮分子维修保养内容如下:

1、超声波清洗转/定子叶片及腔体 并烘干

2、更换了全套陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品

3、马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量

4、根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至G0.16标准,

5、测试0-27000rpm启动时间<3分钟*测试极限真空值<1.0*10-7mbar等

6、持续模拟生产现场测试24小时,

7、0-20KHz震动频谱加速度分析

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