潽拓——{精},分子泵
维修SHIMADZU TMP-1303LMC-G1磁悬分子泵,二手分子泵维修出售
广州潽拓主要维修leybold(莱宝),pfeiffer(普发),alcatel(阿尔卡特),agilent(varian),shimadzu(岛津),Edwards(爱德华),Osaka(大阪)等一线品牌分子泵 。
岛津TMP-1303LMC-G1设备泵维修,Shimadzu磁力泵保养,二手TMP-1303M真空泵
广州潽拓光电科技有限公司——爱德华分子泵维修要多少钱,分子泵
Shimadzu TMP-V2304LM岛津磁悬浮分子泵维修-
Shimadzu岛津磁悬浮分子泵维修厂家,镀膜生产线设备泵保养
日本岛津磁悬浮TMP-V2304LM分子泵,提供保养Shimadzu TMP-V2304LM岛津磁悬浮分子泵维修,日本岛津 TMP-V2304LM磁悬浮涡轮分子泵保养-采用五轴控制磁性轴承系统,无需使用油润滑,在运转过程当中,无任何摩擦,是真正做到完全无油、免维护、安装的涡轮分子泵,日本岛津磁悬浮TMP-V2304LM分子泵自带控制器。
广州潽拓光电科技有限公司——爱德华分子泵维修要多少钱
岛津是的涡轮分子泵(TMP)制造商之一。岛津TPM主要用于为制造半导体器件、太阳能电池和平板显示器提供不可或缺的高真空环境。
岛津生产的TMP具有国际水准的气体吞吐量和抽气速度,可满足日益严格的半导体制造的工艺需求。例如,使制造商能够在大面积硅片上沉积和蚀刻半导体薄膜。
我司特针常用的 Shimadzu TMP3203涡轮分子维修保养内容如下:
1、超声波清洗转/定子叶片及腔体 并烘干
2、更换了全套陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品
3、马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量
4、根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至G0.16标准,
5、测试0-27000rpm启动时间<3分钟*测试极限真空值<1.0*10-7mbar等
6、持续模拟生产现场测试24小时,
7、0-20KHz震动频谱加速度分析
广州潽拓光电科技有限公司——爱德华分子泵维修要多少钱